第98节(4 / 4)

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  沈问冰人到中年,既是南大光电甬城子公司的总经理,也是研发光刻胶团队的灵魂人物,曾被张群芳教授带过几年,因此颇给几分面子。
  见了人,盛明安先做自我介绍。
  沈问冰拊掌:“我认识你!”他笑说:“业内的人估计都听过你的名声,你找我有事?”
  双方都是科研人员,说话不喜欢拐弯抹角,盛明安也不拖泥带水,摊开带来的资料,直言道:“沈先生的团队有没有意向研发arf光刻胶?”
  沈问冰一愣:“我们krf光刻胶技术还没突破,一下子大跨步到arf,这……”
  光刻胶又名光致抗蚀胶,其作用是提高加工精度、保护硅基材料使其不受腐蚀,技术壁垒也很高,目前全球九成市场被美国和日本独占。
  国内厂商只掌握中低端g线和i线光刻胶技术,高端的krf和arf被国外垄断,arf之后还有光刻机进入3nm时代的euv光刻胶技术。 ↑返回顶部↑

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