第246章 直播！超级光刻机诞生！（2）（3 / 3）

  高原走上前，手指图表说道：“不同于西方技术，我们的技术路线比较复杂，如图所示，首先将高功率的二氧化碳激光，打在直径三十微米的锡液滴上，通过高功率激光蒸发锡液，然后将蒸汽加热到电子脱落的临界温度，留下离子，再进一步加热，直到离子开始发射光子。”
  “具体来说呢，就是首先打开锡液发生器，使锡液滴落入真空室里，脉冲式高功率激光器启动，击中从旁飞过的锡液滴，频率为每秒五万次，目地是使锡液气化。”
  “气化瞬间，锡原子被快速电离，产生高强度的等离子体，这时候，收集镜会捕获等离子体发出的辐射，汇聚形成光源，将集中起来的光源传递至光刻系统，经过放大，调整，物镜的折射，最终曝光在硅晶片之上。” ↑返回顶部↑